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Amberjet UP6040半導(dǎo)體級(jí)拋光樹脂

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AMBERJET UP6040 半導(dǎo)體級(jí)終端精制混床樹脂

AMBERJET UP6040是一種經(jīng)專門設(shè)計(jì)、制造,應(yīng)用于最高純度水處理系統(tǒng)的終端精制混床樹脂。此樹脂是由高交換容量,完全轉(zhuǎn)型的凝膠型強(qiáng)酸陽樹脂及強(qiáng)堿陰樹脂,依當(dāng)量平衡的比例,預(yù)先混合好的混床樹脂,其混合前已預(yù)先處理防止結(jié)團(tuán)塊發(fā)生的可能性。陽陰樹脂顆粒的分布系經(jīng)仔細(xì)的選擇,以避免樹脂在加入水時(shí)因重力而分離。如此可確保在精制床容器內(nèi)的樹脂完全混合,并發(fā)揮最大的交換平衡效益,而均一性的顆粒大小加強(qiáng)樹脂的離子交換速率,使得此混床樹脂可應(yīng)用于較高的采水流量,并達(dá)到壓降及純度的最佳平衡點(diǎn)。上述的特點(diǎn),使得此樹脂可在消耗最少的清洗水情形下,得到最高純度的純水。

AMBERJET UP6040是因應(yīng)使用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的超純水系統(tǒng),及其他類似用途的需求,所特殊設(shè)計(jì)的不再生型終端精制混床樹脂。此樹脂的使用,使得所有種類的離子,如硅酸鹽、TOC及次微米顆粒濃度等的泄漏量,進(jìn)入了新低的紀(jì)元。由于為不再生型,此新種類的半導(dǎo)級(jí)混床樹脂不會(huì)受到再生系統(tǒng)的影響,并可在采水中發(fā)揮最佳的特性。AMBERJET UP6040并不建議用于可再生的混床系統(tǒng)中。

樹脂基本特性

在不再生的終端精制床的應(yīng)用上,超純水的純度遠(yuǎn)較樹脂的基本特性來的重要。因此,暸解樹脂的用途是很重要的,如此才可得到此樹脂的最高交換樹脂及總體的質(zhì)量。以下是AMBERJET UP6040的典型特性,其所使用的陽陰樹脂的數(shù)據(jù)顯示,AMBERJET UP6040為可符合高交換容量,均一樹脂顆粒的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)的離子交換樹脂。

 


陽樹脂H+

陰樹脂OH-

含濕量,%

44.0-51.0

54.0-60.0

總交換容量,eq/L

32.00

31.10

均一系數(shù)

1.20

1.20

H型,%含量

399

-

OH型,%含量

-

395.0

Cl型,%含量

-

0.5

CO3型,%含量

-

5.0

SO4型,%含量

-

0.1

為達(dá)最佳結(jié)果的建議操作條件

(此樹脂可用于此建議之外的操作條件,但結(jié)果可能不是最佳的)

入水溫度

15-25oC (60-77oF)

最小床深

900mm (3 feet)

采水流速

3050BV*/小時(shí)

建議入水水質(zhì)

入水水質(zhì)

>17MW-cm

入水二氧化硅濃度

<2ppb

入水總有機(jī)碳濃度(TOC)

<15ppb

*1BV(床容積)=1m3樹脂為1m3溶液





質(zhì)量保證

羅門哈斯公司針對AMBERJET UP6040測試了電阻值、總有機(jī)碳值及離子交換速率的特性,保證每批次的AMBERJET UP6040均能符合生產(chǎn)超純水所需要非常嚴(yán)苛的特性參數(shù),并可滿足使用單位的需求。

下圖為羅門哈斯公司針對AMBERJET UP6040的質(zhì)量管理程序測試程序,所得到典型的TOC及電阻值曲線。

電阻值及TOC清洗曲線


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